Un interrupteur à vide est un type d'interrupteur conçu pour surveiller une plage spécifique de niveaux de vide ; il est également connu sous le nom de relais à vide. Sa fonction est d'ouvrir ou de fermer automatiquement un circuit de commande-et de générer simultanément un signal électrique-lorsque le niveau de vide réel généré pendant le fonctionnement atteint une exigence prédéterminée, ordonnant ainsi au mécanisme d'adsorption sous vide d'exécuter son fonctionnement normal. Il est classé comme composant essentiel à la fois à la fiabilité et à la sécurité.
Les vacuostats sont classés en trois types : pont mécanique, à semi-conducteur et pneumatique. Les vacuostats mécaniques déterminent les changements de pression du vide en utilisant un déplacement mécanique-dont un exemple est le vacuostat de type à membrane-. À l'inverse, les vacuostats à semi-conducteurs utilisent des capteurs de pression à semi-conducteurs pour détecter les changements de pression du vide et sont capables de convertir directement les signaux de pression détectés en signaux électriques.